LS-611/hmds hexamethyldisilazane (hmds)
CAS no. 999-97-3
Được sử dụng như một chất xử lý và chống ánh sáng trong quá trình quang khắc chip, photoresist, được sử dụng làm chất ổn định cho chất điện phân pin lithium, có thể cải thiện hiệu suất điện hóa và hiệu suất chu kỳ của pin Lithium-Ion, và sử dụng y tế.